用于PLD、激光MBE、CVD的TorrRHEED

RHEED是一种现场实时监测工具，可显示材料结构、生长速度和逐层变化。一些技术，如激光沉积、CVD、MOMBE，在生长过程中需要在工艺室中施加更高的压力。工作气体可能非常活泼。

即使在如此困难的条件下，STAIB RHEED系统也能根据原位RHEED观测结果对生长进行有效分析。获得专利的TorrRHEEDTM通过确保最佳灯丝寿命和优良RHEED图案的设计，克服了高压环境的潜在影响。获得专利的STAIB波束控制、电子波束摇摆、方位控制和多线圈系统，为用户提供了监控各种可能样本位置的能力。

对于高达几十mTorr的压力：集成单差泵级

对于真空室内高达几十mTorr的气体压力，单个差分泵级足以确保灯丝的长寿命。泵送集成到喷枪中，提供高达1000倍的效率（表示为腔室和喷枪压力之间的比率）。这将使喷枪内部的压力保持在一个水平，以便喷枪高效运行，灯丝使用寿命长。

对于高达几百mTorr的压力：双差泵送配置（TorrRHEED）

由于电子散射变得更强，电子的平均自由程在该压力范围内减小，TorrRHEEDTM系统在样品的枪侧和屏侧配置了较短的工作距离，加上第二个差分泵级。此外，还结合了单泵系统的特点，以确保灯丝使用寿命长。建议使用远光电压（30至50 kV），以改善在此类更高压力下的操作，从而进一步减少散射效应。