HPD IQ1000 全自动扫描SQUID显微镜
IQ1000 概述
IQ1000是一种新型扫描超导量子干涉仪显微镜，用于研究超导回路中可能对电路运行产生负面影响的俘获磁通量（磁涡流）的动力学。这种显微镜使超导器件设计团队能够在受控磁场中获得从低温到超导转变温度的磁涡旋流成像。IQ1000具有快速的扫描速度和过程自动化，是同类产品中第一款支持无人参与和高通量表征的商用产品。器件设计人员现在可以消除弹性超导回路设计中的猜测，并通过定位和捕捉有害的磁涡流来提高器件性能，从而显著缩短开发时间。
IQ1000通过在样品表面以亚微米分辨率扫描SQUID磁通量传感器以产生磁通和材料磁化率的图像来实现特性表征。该显微镜还可以使用XYZ矢量磁场、精确的样本温度控制和使用传感器场线圈直接操纵涡流来研究电路中的涡流动力学。这些表征技术使电路设计者能够定位涡流在图案化超导薄膜中的捕获位置，并了解特定电路布局和材料特性对涡流捕获的影响。使用IQ1000，器件设计人员可以更好地理解涡流捕获情况，并优化电路设计、材料选择和“护城河”的放置，以捕获经典和量子超导逻辑电路中的涡流。
总的来说，对涡流捕获和动力学的更好理解将有助于开发运行稳定的超导回路，并将有助于加速超导量子计算市场的增长。
¹ SQUID 代表“超导量子干涉装置”。SQUID将超导回路与两个约瑟夫森结进行结合，形成一个传感器，并将磁通量转换成信号电流。通过SQUID的电流（或从SQUID输出的电流）与通过SQUID回路的磁通量直接相关。
IQ1000 主要特征
SQUID传感器自动调谐：系统自动调谐和锁定SQUID磁通量传感器系统，并自动保持最佳系统调谐。
无人参与操作：所有扫描程序都可以预先编程，无人参与运行。几个小时的实验可以在没有监管的情况下进行。
样本量：系统一次可容纳20×20 mm或更多的小样本（例如9个5×5 mm的样本）。
闭环扫描基座：图像无失真，可重复，精度低于100 nm。扫描仪平台还支持可重复的子空间扫描和位置保持，用于光谱和涡流操作。
样本温度控制范围从< 3 K到20 K以上，加热和冷却速率可精确编程控制。
磁屏蔽：显微镜配备双层磁屏蔽，对样本扫描区< 20 nT的剩余场有完整的非磁性结构。
磁场控制：磁屏蔽内的XYZ亥姆霍兹线圈可以控制磁场0-70 uT，样本区域的不均匀性小于3%。
灵活的传感器集成：SQUID传感器可通过Formfactor获得，或者客户可自备传感器。
无冷冻剂：系统无冷冻剂，显微镜核心与低温冷却器之间采用隔振。
