Boston Micromachines MEMS变形镜其中低制动器数MEMS反射镜是用于高级波前控制的经济且通用的像差调制解决方案，具有高达140个精确控制的元件和低致动器间耦合，Multi-DM系统是包括显微镜、天文学、视网膜成像和激光束整形应用在内的广泛应用的理想选择。这种DM可用于自适应光学或空间光调制器应用的连续和分段表面。

MEMS Deformable Mirrors: Architecture Description结构描述

The Boston Micromachines design for MEMS deformable mirrors is simple in concept but powerful in its capabilities.

An actuator array is built upon a cartesian layout of electrodes. The supported mirror facesheet moves without strong inter-actuator coupling enabling better control compared to the competition. In addition, the architecture of MEMS deformable mirrors enables the fastest response time of any deformable mirror today and the precision is only limited by the electronics. Our standard drivers enable 14 bit control over the full range giving our deformable mirrors an unmatched level of precision out of the box. If more accuracy is desired, increased resolution is available.

Finally, the scalable fabrication process allows us to create multiple configurations in large quantities, enabling lower cost at high volumes. Scroll down for more information about the array of sizes available when selecting BMC deformable mirrors.

    Multi-DM可变形镜能够实现高达 5.5 μm 的行程、2 kHz 的帧速率、亚纳米级步长且无滞后。以 X-Driver 的形式为 Multi-DM 系统提供高速电子升级。

    中执行器数DM系统是高性能波前校正器，适用于天文学、激光通信和远程成像等要求严苛的应用，提供三种类型：Kilo-DM、492-DM 和 648-DM。

Kilo-DM可变形镜是用于精确、高速、高分辨率波前控制的使能组件。多达 1020 个执行器控制在1纳米以下的精度且无滞后，该系统非常适合要求严苛的应用。

作为流行的Kilo-DM可变形镜的替代品，492-DM和 648-DM可以以更低的成本使用并产生卓越的效果。492-DM和648-DM系统分别将492和648执行器的精度控制在1 nm以下且无滞后，是天文学和下一代成像应用的理想选择。

Boston Micromachines Corporation(BMC)是高执行器数MEMS变形镜技术的行业领导者，这些反射镜部署在世界各地著名的天文设施中，用以提高波前校正能力，其中4K-DM 安装在双子座行星成像仪器上2K-DM则包含在多个空间望远镜概念的设计中。

此外，2K-DM 被安装为斯巴鲁日冕仪极端自适应光学（SCExAO）仪器和麦哲伦望远镜 (MagAO-X) 的实验性日冕极端自适应光学系统中的启用组件。多年来，两者都一直在空中观测中持续运行。

微机电可变形反射镜特点：

-大阵列产生高分辨率波前校正。

-先进的微结构允许对高空间频率表面的相邻执行器之间的影响最小

-优化设计可实现高速应用的快速波前整形

Continuous Deformable Mirror Standard Models

可变形反射镜型号列表

DM Models	Layout	Total Actuator Count *	Actuator Count Across Aperture	Physical Stroke (μm)	Wavefront Stroke (µm)	Aperture (mm)	Pitch (μm)	Mechanical Response (small step, 10% – 90%) (μs)	Digital Update Rate: Standard (kHz)	Digital Update Rate: High Speed (kHz)	Approximate Interactuator Coupling
Multi-C-1.5L-DM		137	13	1.5	3.0	4.80	400	<75	2	100	15%
Multi-3.5-DM		140	12	3.5	7.0	4.40	400	<75	2	100	13%
Multi-3.5L-DM		140	12	3.5	7.0	4.95	450	<75	2	100	13%
Multi-5.5-DM		140	12	5.5	11.0	4.95	450	<100	2	100	22%
276-1.5-DM		276	18	1.5	3.0	5.10	300	<20	2	100	15%
276-3.5-DM		276	18	3.5	7.0	6.80	400	<75	2	100	13%
276-5.5-DM		276	18	5.5	11.0	7.65	450	<100	2	100	22%
492-1.5-DM		492	24	1.5	3.0	6.90	300	<20	45	60	15%
492-3.5-DM		492	24	3.5	7.0	9.20	400	<75	45	60	13%
492-5.5-DM		492	24	5.5	11.0	10.35	450	<100	45	60	22%
648-5.5-DM		648	28	5.5	11.0	12.15	450	<100	45	60	22%
Kilo-C-1.5-DM		952	34	1.5	3.0	9.90	300	<20	45	60	15%
Kilo-C-3.5-DM		952	34	3.5	7.0	13.20	400	<75	45	60	13%
2K-1.5L-DM		2040	50	1.5	3.0	19.60	400	<40	30	n/a	15%
2K-3.5-DM		2040	50	3.5	7.0	19.60	400	<75	30	n/a	13%
3K-1.5-DM		3063	62	1.5	3.0	18.30	300	<20	16	n/a	15%
4K-3.5-DM		4092	64	3.5	7.0	25.20	400	<75	16	n/a	13%

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Hex Tip-Tilt-Piston Segmented Deformable Mirror Models

DM Models	Layout	Total Actuator Count *	Segment Count	Physical Stroke (μm)	Wavefront Stroke (µm)	Aperture (mm)	Pitch (μm)	Mechanical Response (small step, 10% – 90%) (μs)	Digital Update Rate: Standard (kHz)	Digital Update Rate: High Speed (kHz)
Hex-111		111	37	3.5	7.0	3.8	375	<40	2	100
Hex-507		507	169	3.5	7.0	8.3	375	<40	2	100
Hex-1011		1011	337	3.5	7.0	11.6	375	<40	45	60
Hex-3066		3066	1022	3.5	7.0	21.2	375	<40	45	N/A

Please Note: Fill factor >99% (DM)
Please Note: Surface figure: <30nm
* Custom actuator counts available upon request

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