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成功案例
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ionautics 高功率脉冲磁控溅射 (HiPIMS) HiPSTER系列脉冲电源

ionautics 高功率脉冲磁控溅射 (HiPIMS) HiPSTER系列脉冲电源

瑞典ionautics 高功率脉冲磁控溅射 (HiPIMS) HiPSTER系列脉冲电源

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瑞典ionautics 高功率脉冲磁控溅射 (HiPIMS) HiPSTER系列脉冲电源

HiPSTER 1

Ionautics开发了一种新型超高速HiPIMS电源,以满足未来HiPIMS工艺的需求。它是用于研发部门和学术界的1 kW HiPIMS装置,适用于尺寸达50 cm2或约3英寸圆形靶的磁控管。

HiPSTER 6

Ionautics开发了一种新型超高速HiPIMS电源,以满足未来HiPIMS工艺的需求。它是一个用于研发部门和学术界的6kW HiPIMS单元,适用于尺寸达500cm2或约10英寸圆形靶的磁控管。

HiPSTER 10

Ionautics开发了一种新型超高速HiPIMS电源,以满足未来HiPIMS工艺的需求。它是一个10 kW的HiPIMS装置,用于工业和研发部门,适用于尺寸达800 cm2的磁控管。

产品联系:185 021 93480,sales@gamtic.com

特征

全量程测试

在斯德哥尔摩皇家理工学院(KTH)测试了全系列磁控管和工艺,包括反应性HiPIMS。

稳定、稳健

稳定、稳健的放电过程–恒定电压,无不必要的振荡。

外部触发

外部触发,可通过主从配置进行控制——多个电源。

反应过程控制

反应式HiPIMS过程控制可根据要求实施。此功能允许:

过渡模式期间的稳定运行

保持化学计量组成的反应气体流的宽工艺窗口

应用

定制涂层

DLC涂层

ITO涂层

屏障涂层

硬质涂层

光学涂层

电气涂层

三维涂层


HiPSTER 6

Ionautics开发了一种新型超高速HiPIMS电源,以满足未来HiPIMS工艺的需求。它是一个用于研发部门和学术界的6kW HiPIMS单元,适用于尺寸达500cm2或约10英寸圆形靶的磁控管。

HiPSTER 10

Ionautics开发了一种新型超高速HiPIMS电源,以满足未来HiPIMS工艺的需求。它是一个10 kW的HiPIMS装置,用于工业和研发部门,适用于尺寸达800 cm2的磁控管。


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嗡 哇苏 

达咧司哇哈


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