MEMS 振镜
电磁驱动振镜采用了我们独特的微机电系统 (MEMS) 技术。它们具有较宽的光偏转角、较高的镜面反射率和低功耗的特点。
S12237-03PMEMS 振镜单轴线性扫描线性模式φ2.6 mm铝±15 °100 Hz
S13124-01MEMS 振镜双轴线性扫描第一个轴：线性模式
第二个轴：线性模式φ1.95 mm铝第一个轴：±10°
第二个轴：±10 °第一个轴：90 Hz
第二个轴：90 Hz
S13989-01HMEMS 振镜双轴光栅扫描快轴：非线性模式（谐振模式）
慢轴：线性模式φ1.23 mm铝快轴：±20°
慢轴：±12 °快轴：29.3 kHz（典型值）
慢轴：100 Hz
结构和原理
在 MEMS 振镜中，金属线圈形成在单晶硅上，振镜通过 MEMS 处理形成在线圈内部，并且磁体布置在振镜下方。在由磁体产生的磁场内，围绕振镜的线圈中流动的电流基于弗莱明定律产生导致振镜倾斜的洛仑兹力。另外，振镜可以通过 MEMS 处理形成的两个弹簧的组合以二维方式驱动。入射到振镜上的激光路径以这种方式变化以扫描和投射。与静电或压电驱动振镜相比，电磁驱动 MEMS 振镜的驱动电压更低，更易于使用。
