结构和原理
在 MEMS 振镜中，金属线圈形成在单晶硅上，振镜通过 MEMS 处理形成在线圈内部，并且磁体布置在振镜下方。在由磁体产生的磁场内，围绕振镜的线圈中流动的电流基于弗莱明定律产生导致振镜倾斜的洛仑兹力。另外，振镜可以通过 MEMS 处理形成的两个弹簧的组合以二维方式驱动。入射到振镜上的激光路径以这种方式变化以扫描和投射。与静电或压电驱动振镜相比，电磁驱动 MEMS 振镜的驱动电压更低，更易于使用。
电磁 MEMS 振镜特点（与电流振镜相比）
MEMS 振镜更小，具有双轴功能，与电流振镜相比成本更低。
滨松 MEMS 振镜已采用基于 MEMS 和光电半导体技术的电磁驱动。
| 参数 | MEMS 振镜（电磁） | 电流振镜 |
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| 驱动方法 | 电磁（洛仑兹力） | 电机（洛仑兹力） |
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| 光偏转角 | 有限 | 大 |
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| 振镜尺寸 | 小 | 大 |
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| 设备尺寸 | 非常小 | 笨重 |
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| 成本 | 低 | 高 |
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| 双轴兼容性 | 可能为 1 个单位 | 需要 2 个单位 |
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| 操作 | 复杂 | 不复杂 |
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