HiPSTER 1
Ionautics开发了一种新型超高速HiPIMS电源,以满足未来HiPIMS工艺的需求。它是用于研发部门和学术界的1 kW HiPIMS装置,适用于尺寸达50 cm2或约3英寸圆形靶的磁控管。
HiPSTER 6
Ionautics开发了一种新型超高速HiPIMS电源,以满足未来HiPIMS工艺的需求。它是一个用于研发部门和学术界的6kW HiPIMS单元,适用于尺寸达500cm2或约10英寸圆形靶的磁控管。
HiPSTER 10
Ionautics开发了一种新型超高速HiPIMS电源,以满足未来HiPIMS工艺的需求。它是一个10 kW的HiPIMS装置,用于工业和研发部门,适用于尺寸达800 cm2的磁控管。
产品联系:185 021 93480,sales@gamtic.com

特征
全量程测试
在斯德哥尔摩皇家理工学院(KTH)测试了全系列磁控管和工艺,包括反应性HiPIMS。
稳定、稳健
稳定、稳健的放电过程–恒定电压,无不必要的振荡。
外部触发
外部触发,可通过主从配置进行控制——多个电源。
反应过程控制
反应式HiPIMS过程控制可根据要求实施。此功能允许:
过渡模式期间的稳定运行
保持化学计量组成的反应气体流的宽工艺窗口
应用
定制涂层
DLC涂层
ITO涂层
屏障涂层
硬质涂层
光学涂层
电气涂层
三维涂层
HiPSTER 6
Ionautics开发了一种新型超高速HiPIMS电源,以满足未来HiPIMS工艺的需求。它是一个用于研发部门和学术界的6kW HiPIMS单元,适用于尺寸达500cm2或约10英寸圆形靶的磁控管。
HiPSTER 10
Ionautics开发了一种新型超高速HiPIMS电源,以满足未来HiPIMS工艺的需求。它是一个10 kW的HiPIMS装置,用于工业和研发部门,适用于尺寸达800 cm2的磁控管。