扫描双轴（尖端倾斜）MEMS反射镜（或“微反射镜”）是一种用于许多行业的光束控制（或2D光学扫描）技术。与竞争产品相比，Mirrorcle Technologies Inc.倾翻MEMS镜有几个主要优势。基于ARI-MEMS制造技术的无框架双轴扫描微镜装置最初是通过位于加利福尼亚州伯克利的亚得里亚海研究所（“ARI”）基于ARI-MEM制造技术的研究项目开发的，无框架双轴轴扫描微镜装置在超低功率环境中运行，并提供非常快速的双轴光束扫描。该设备在两个轴上以高速将激光束偏转到高达32°的光学扫描角度。与现有的大型检流计光学扫描仪相比，我们的设备需要的驱动功率少了几个数量级。静电致动器的连续全速运行消耗的功率不到几毫瓦。
MircleTech器件完全由单晶硅制成，具有优异的重复性和可靠性。光学平坦和光滑的反射镜涂有具有所需反射率的薄膜。较大的反射镜可以结合到致动器上，以定制孔径尺寸。直径为0.8mm至7.5mm的镜子目前有现货。在特殊应用中成功展示了尺寸达9.0mm的产品。
MirrorcleTech的MEMS微镜技术具有高度的通用性，适用于各种应用。一些器件的制造具有一些通用的准静态（点对点）性能规范。其他设备是高度可定制的，以实现特定的规格集，例如投影显示器。虽然以下描述主要涉及双轴装置，但也有多种单轴设计可用，包括点对点（准静态）和共振型。
Mirrorcle Technologies MEMS器件解决了需要光束控制的广泛应用。随着光学扫描或光束控制在各种行业和众多应用中的出现，我们的扫描镜在那些需要小型、高速、低功耗或低成本解决方案的应用中最为有用。
产品应用：
投影显示
3D扫描
激光雷达成像
三维跟踪和位置测量
激光标记和雕刻
自由空间光学和电信
生物医学成像
集成MEMS振镜型号：
直径高达2.4mm的集成镜是作为无万向节致动器装置结构的集成部分整体制造的。它们是硅管芯的中心区域，与周围的静电致动器共享相同的微制造步骤。这些反射镜由相同的可用硅层构成，具有近乎完美的平坦和光滑的硅表面。在四个侧面，反射镜连接到提供双轴运动的双轴连杆。自2016年以来，Mirrocle一直在库存具有以下直径的集成镜的设备：0.8mm、1.2mm、2.0mm和2.4mm。所有库存的集成反射镜都涂有纯铝，在非常宽的波长范围内具有高反射率。金的金属化可以在晶圆规模上进行，因此可用于更大的生产订单。
镜子尺寸：直径为0.8mm、1.2mm、1.6mm、2.0mm和2.4mm。
点对点驱动下的最大倾角：每轴机械角度-6°至+6°，因设计类型而异。
共振驱动下的最大倾角：-7°至+7°机械角度
单轴选项：大多数设计可用于纯单轴运动。
| Actuator Name | Mechanical Angle[°] | Die Size [mm] | Mirror Diameter[mm] | PDF |
|---|
| A3I8.2-800AL | ±6 | 4.25 x 4.25 | 0.8 | ✓ |
| A7M8.1-800AL | ±4.75 | 5.20 x 5.20 | 0.8 | ✓ |
| A7M10.2-1000AL | ±4.75 | 5.20 x 5.20 | 1.0 | ✓ |
| A3I12.2-1200AL | ±5 | 4.25 x 4.25 | 1.2 | ✓ |
| F1M16.2-1600AL | ±4.5 | 5.20 x 5.20 | 1.6 | ✓ |
| A7M20.2-2000AL | ±5 | 5.20 x 5.20 | 2.0 | ✓ |
| A5M24.3-2400AL | ±5 | 7.25 x 7.25 | 2.4 |
|
粘合MEMS振镜型号：
粘结反射镜是与硅致动器结构分开制造的，用于随后在器件顶部进行微组装。因为这些反射镜从装置致动器结构的上方附接，所以它们不占据致动器区域的一部分，因此基本上可以制成任意尺寸。粘结反射镜方法允许用户为每个应用选择反射镜的尺寸和几何结构，以优化速度、光束尺寸和扫描角度之间的权衡。反射镜粘结在现成的致动器上，能够经济地适应一小组制造的设备，以适应广泛的应用。
粘合镜尺寸：库存中直径为2.0、2.4、3.0、3.6、4.2、4.6mm和5.0mm、6.4mm和7.5mm。
点对点驱动下的最大倾斜角度：每个轴上的机械角度为-6°至+6°，因设计类型而异，在某些情况下受镜面尺寸的限制。
谐振驱动下的最大倾斜角度：-7°至+7°机械角度，在某些情况下受镜面尺寸限制。
单轴选项：库存单轴致动器可与许多可用的镜子尺寸组合。
* ⍻ = Datasheet Not Available
* NR = Not Recommended
