该系列振镜促动器技术成熟的电磁驱动。单个镜面可提供二维光束偏转,镜面尺寸可达到10mm和15mm,该设备不仅可以提供较大的镜面尺寸,光学偏转角度更是可达到±50°该系统包含一个位置反馈系统,设备的整体分辨率可达到5urad。
Optotune 大尺寸MEMS闭环微扫描振镜主要特点:
大的镜面尺寸(10mm & 15mm)
大的光学偏角蕞大可达+/- 50°
闭环控制精度可达5mrad
Optotune 大尺寸MEMS闭环微扫描振镜主要应用:
激光雷达
自动驾驶辅助系统
视觉(视场扩展、缩放)
计量生物学&诊断设备
3D打印
振镜型号(MR-E-2开发套件) | MR-10-30 | MR-10-30 |
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1D/2D | 2D | 2D |
Mirror size | 15 mm | 10 mm |
Mechanical tilt - fast axis (half angle) | 25° | 12.5° |
Fullscale bandwidth - fast axis | 20 Hz | 250 Hz |
Mechanical tilt slow axis (half angle) | 25° | 25° |
Full-scale bandwidth - slow axis | 20 Hz | 20 Hz |
Mech. repeatability RMS typical | 40 µ rad | 40 µ rad (slow axis) |
Housing diameter | 30 mm | 30 mm |
Housing height | 14.5 mm | 14.5 mm |
Position feedback | yes | yes |
Typical applications | Machine Vision, surveillance, free-space communication, OCT, LiDAR, metrology | LiDAR, OCT, confocal microscopy |