Park NX-Hivac
用于故障分析与敏感材料研究的高真空原子力显微镜
Park NX-Hivac通过为失效分析工程师提供高真空环境来提高测量敏感度以及原子力显微镜测量的可重复性。与一般环境或干燥N2条件相比，高真空测量具有准确度高、可重复性好及针尖和样本损伤低等优点，因此用户可测量各种故障分析应用中许多信号响应，例如扫描扩散电阻显微术(SSRM)的掺杂物浓度。
Park NX-Hivac使得真空环境中高精确度和高分辨率测量的材料科学研究远离氧气与其它药剂的影响。
Park NX-Hivac技术参数
扫描器
Z扫描器
柔性引导高推动力扫描器
扫描范围: 15 µm (可选 30 µm)
高度信号噪声等级: 30 pm
(RMS, at 0.5 kHz bandwidth)
XY扫描器
闭环控制的柔性引导XY扫描器
扫描范围: 100 µm × 100 µm
(可选50 µm × 50 µm)
驱动台
Z位移台行程范围 : 24 mm (Motorized)
聚焦样品台行程范围 : 11 mm (Motorized)
XY位移台行程范围 : 22 mm x 22 mm (Motorized)
样品架
样品大小: 最大尺寸为 50 mm x 50 mm, 厚度最大值为 20 mm
样品重量 : < 500 g
光学
10倍超长工作距离镜头
样品表面和悬臂的直观同轴影像
视野 : 840 × 630 µm (带10倍物镜)
CCD : 5 M pixel
物理信息
内真空室: 300 mm x 420 mm x 320 mm
外部真空 (including granite & pump) : 800 mm x 950 mm x 1240 mm
高真空
真空等级: 通常小于 1 x 10-5 torr
托泵速 : 使用涡轮和干式泵在约5分钟内达到 10-5 torr
软件
SmartScan™
AFM系统控制和数据采集软件
智能模式的快速设置和简易成像
手动模式的高级使用和更精密的扫描控制
XEI
AFM数据分析软件
真空管理器
自动真空控制软件
电子
集成功能
4通道灵活的数字锁相放大器
弹簧常数校准（热法，可选）
数字Q控制
外部信号接入20个嵌入式信号输入/输出端口
5个TTL输出 : EOF、EOL、EOP、调制和交流偏置
AFM模式
(*Optionally available)
标准成像
真正非接触原子力显微镜
PinPoint™原子力显微镜
接触式原子力显微镜
侧向力原子力显微镜(LFM)
相位成像
轻敲式原子力显微镜
介电/压电特性
静电力显微镜 (EFM)
动态接触式静电力显微镜 (EFM-DC)
压电响应力显微镜 (PFM)
高压PFM*
产品照片
小样品AFM
大样品AFM
高真空原子力显微镜
Park FX40
纳米科学研发界应运而生的的
新型全自动原子力显微镜
该产品可以通过多样化的应用程序，不费吹灰之力即可获得最敏锐、最清晰、最高分辨率的扫描图像。
通过前所未有的速度和精度，推动您研发进步并助力您的科学新发现——FX40将人工智能运用得淋漓尽致，全自动化的过程能实现用户纳米级显微镜的需求。额外的轴向自动激光校准、早期预警系统和故障自动保险、同步化信息提取和存储，让即便是未经原子力显微镜专业培训的研究科学家们也可以轻松快速地获得最满意的扫描结果。
