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MEMS Scanner MEMS扫描镜
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扫描镜类型
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1D MEMS Scanner with modular fabrication option
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扫描速度
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500 Hz~50 kHz
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光学扫描角度 (FOV)
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由扫描镜决定, 角度可至80° (机械扫描角度 ±20°)
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扫描头
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基底材料
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陶瓷（标准）
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密封
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Dust-proof
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光路接口
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Dome (standard) with anti-reflective coating
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镜面位移控制
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Optical, integrated in scan head, signal processing on driving electronics board
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电路接口
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Flexible flat cable connected to sensor system
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模块尺寸
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23 × 16 mm2
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工作温度
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0
45 °C
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驱动板
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外围尺寸
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77 × 46 mm2
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供电电压
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5 V DC
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内部驱动电压
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15 V
200 V, max. 3 mA
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工作控制模式
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幅度控制 ( ≥ 8° scan angle) 或压控
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接口
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SPI, I / O ports
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