一种新的基于 MEMS 的中红外光谱仪可以构成用于检测有害物质的手持系统的基础。

该设备由弗劳恩霍夫光子微系统研究所 (IPMS) 开发，包含一个由微机电系统 (MEMS) 控制的 5 毫米衍射光栅。它与另一个弗劳恩霍夫研究所和国际合作伙伴正在开发的量子级联激光器 (QCL) 一起测量 3 到 12 µm 的原子吸收线。

带有集成 MEMS 衍射光栅的 QCL 模块。由弗劳恩霍夫 IPMS 提供。

“静电驱动的 MEMS 光栅反射镜比振镜扫描仪紧凑得多，几乎不发出声音，并且由于重量轻而允许非常高的扫描频率，”Fraunhofer IPMS 项目经理 Jan Grahmann 博士说。

“结合微型激光源，它们非常适合集成到移动、方便的传感器系统、简单的现场测量以及集成到生产和加工设施的工业测量技术中。”

MEMS 衍射光栅充当 QCL 的可变频率外部谐振器。它允许以 1000 Hz 的扫描频率调谐激光波长，其可变频率范围高达中心波长的 20%。

Fraunhofer IPMS 早期开发了一种移动 MEMS 扫描光栅光谱仪，用于 950 至 1900 nm 的近红外波段。